第152章 半橙映江 首页

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第152章 半橙映江(5/9)

升光刻精度和稳定性!

这是维持阿斯唛王座,乃至开拓更先进制程光刻机,如:正在研发的EUV光刻机的基础!

总裁皮特温尼克认为,只要阿斯唛正在研发的EUV光刻机一问世,光刻机领域从此就只会剩下两类厂家:阿斯唛的EUV光刻机,和其他的DUV光刻机。

到那时候,阿斯唛一旦垄断了EUV光刻机市场,才真正到了稳坐钓鱼台,过躺着赚钱的日子!

技术总监迅速拆解了任务,需要提升光刻机的精度与稳定性,主要依赖三大支柱:

1、更纯净、更稳定的光源系统(激光器)。

2、更智能、更强大的光刻计算光刻(ComputationalLithography)算法。

3、更高精度的运动控制与对准技术(核心是超精密测量与执行器件,如.超高精度陀螺仪用于晶圆台和掩模台的纳米级稳定与定位)。

供应链负责人被赋予了重任。

他迅速将团队分组:一组去考察激光器巨头西蒙和蔡斯公司,一组去硅谷寻求顶尖的计算光刻软件公司,最后一组,则负责寻找超精密运动控制解决方案。

保罗被分在了超精密技术组。

他的同事被派往北美,目标直指该领域的绝对王者--霍尔尼尔(Honeywall)和老二AEO(AlliedElactronics&Optics),希望能采购到其最顶级的精密运动控制模块。

而保罗的任务则是前往亚洲,考察霓虹的东之、TDK等可能具备相关超精密技术的公司。

“保罗!”

供应链负责人将任务书递给他,特意补充道:“另外需要提醒你的是,今年3月份的国际工业博览会将在种花的深城举行,你亚洲之行结束后,顺道去深城看看”

“你留意一下,有没有可能找到能提供精度在0.001°/h到0.0001°/h的超精密陀螺仪供应商,温尼克总裁对这个指标很关注,他认为这对我们下一代EUV光刻机的稳定性至关重要!”

保罗接过文件,作为资深技术专家,他忍不住苦笑吐槽。

“头儿,你确定没开玩笑?

霍尔尼尔最先进的旗舰型号GG1389,零偏稳定性才0.0015°/h,还是北美白房子严格

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